在远古时代，人类就有了对自然、祖先和灵魂等的原始崇拜和敬畏意识。当时虽没有成体系的法事，但已经出现了一些围绕丧葬的原始仪式和行为，比如在死者身边放置工具、食物等。

到商周时期，人们对鬼神的信仰较为狂热，有了较为隆重的祭祀活动和一定的祭祀规范，不过此时还不能说是严格意义上的后世丧葬法事。但当时的祭祀理念、仪式程序等为后世法事的发展奠定了基础，如占卜、祭神等行为。

秦代由于时间较短，在丧葬法事方面继承先秦较多。

汉代，一方面，儒家的丧葬礼仪逐渐体系化、制度化，丧葬过程中礼仪规范不断增加；另一方面，道教处于早期发展阶段，原始道教的一些仪式和观念开始与丧葬有所结合，比如早期的方术、驱邪等观念和实践。同时佛教在这一时期传入中国，但在丧葬中的影响还不明显。

道教在这一时期得到进一步发展，其斋醮等仪式不断丰富，一些道教仪式开始在丧葬场合出现，为亡者祈福、驱邪等。

佛教的影响逐渐扩大，开始有僧人参与丧葬活动，为死者诵经等。此时的丧葬法事呈现出儒释道三者初步融合的特点，并且民间也有了大量带有神秘色彩和宗教意味的丧葬行为和观念。

道教被唐朝皇室推崇，其斋醮法事等活动频繁且规模宏大，在丧葬中也扮演了重要角色，特别是在贵族和上层社会中。

佛教在唐代完全中国化，寺院众多，佛教的超度法事等在社会各阶层广泛流行，有“七七四十九天”超度等一系列较为固定的模式和流程。同时儒家的丧葬礼仪依然占据重要地位，这一时期形成了儒释道在丧葬法事中较为和谐的共存和融合，整个丧葬法事体系走向成熟。

宋以后，儒释道进一步融合在民间社会。

道教的法事在民间丧葬中普遍存在，比如各种斋醮仪式、符咒等运用。

佛教的丧葬法事也深入民间，从城市到乡村，各种超度法会等。

同时民间在长期的历史发展中也形成了自己独特的丧葬法事习俗，比如一些地方有特殊的请神、安魂等仪式，且不同地域差异明显，呈现出多样化的特点。

在近现代，随着科学观念的兴起、社会变革等，传统的丧葬法事在城市等一些地方逐渐简化或形式有所改变，但在广大农村和一些较为传统的地区依然保留了基本的模式和流程，不过也在一定程度上受到现代观念和生活节奏等的影响。在一些海外华人社区，也传承着一些传统的丧葬法事仪式。同时，在学术研究领域，对丧葬法事所蕴含的历史文化等内涵不断进行挖掘和研究。